Российский производитель и эксклюзивный представитель известных мировых брендов КИПиА
Российский производитель и эксклюзивный представитель известных мировых брендов КИПиА
Статьи по КИПиАРасходометрияМассовые расходомеры газа и жидкости для процесса создания покрытий из нитрида титана
Титан часто используется для создания сверхтвёрдых покрытий из нитрида титана (TiN) на изделиях. Благодаря золотистому оттенку, TiN-покрытия применяют в ювелирных украшениях, сантехнике и автомобильном декоре. Их также используют как нетоксичные поверхности для медицинского оборудования, включая биосенсоры для диагностики in vivo.
Для создания покрытий из нитрида титана обычно используется процесс химического осаждения из газовой фазы (CVD). В этом процессе несколько химических веществ (TiCl₄, N₂ и H₂) подаются в печь, где они реагируют при повышенной температуре, образуя TiN, который осаждается на поверхностях в виде покрытия. Целостность, толщина и равномерность покрытия зависят от точности дозирования компонентов.
TiCl₄ находится в жидкой форме и требует испарения для реакции с газами. Необходимо минимизировать загрязнения: утечки или диффузия через уплотнения могут привести к попаданию воздуха, а неполное испарение TiCl₄ — к неконтролируемому составу газовой смеси.
Необходимо принять меры для минимизации загрязнения, которое может повлиять на целостность покрытия. Утечки или проницаемость уплотнительных колец в системе могут привести к загрязнению окружающим воздухом. Неправильное испарение TiCl4 может привести к подаче загрязненных газовых смесей в печь.
Массовые расходомеры и контроллеры потока серии SLA5800 от Brooks Instrument представляют собой отличное решение для точной и воспроизводимой подачи газовых компонентов. Доступны несколько различных вариантов сигналов: аналоговые (0-5 В постоянного тока или 4-20 мА) или многочисленные цифровые протоколы, включая Ethernet/IP и PROFINET. Это обеспечивает универсальный интерфейс для системы управления.
Обладая высокой точностью, воспроизводимостью и превосходной долговременной стабильностью нуля, массовые расходомеры серии SLA представляют собой высоконадежный, герметичный компонент, критически важный для системы CVD, обеспечивая превосходные результаты от первоначального запуска на протяжении всего срока службы процесса CVD. Серия SLA предлагает множество опций для адаптации массового регулятора расхода к конкретному применению, от различных технологических присоединений до сертификации для взрывоопасных зон для массовых регуляторов и расходомеров серии SLAMf.
Кориолисовый массовый расходомер Brooks Instrument Quantim используется для контроля подачи жидкого TiCl4 в испарител. Эта испарительная система использует метод мягкого испарения для обеспечения высокой чистоты подачи TiCl4 в печь. Подача жидкости в испаритель комбинируется с газом-носителем, таким как N2, что снижает необходимое тепло для испарения TiCl4. Это исключает разложение TiCl4 из-за избыточного тепла, обеспечивая стабильный пар в печи.
