Российский производитель и эксклюзивный представитель известных мировых брендов КИПиА
Российский производитель и эксклюзивный представитель известных мировых брендов КИПиА
В производстве полупроводников транзисторы значительно эволюционировали за последние годы: от планарных архитектур до FinFET и теперь структуре «затвор со всех сторон» (Gate-All-Around) (GAA), что способствует развитию различных технологических узлов. Эти достижения часто требуют новых прекурсоров для обеспечения производственного процесса. Точный и повторяемый контроль подачи прекурсоров имеет решающее значение для характеристик пластин, равномерности и выхода годной продукции, особенно на передовых технологических узлах.
Ниже подробно рассмотрены три наиболее распространённых метода подачи жидких и твёрдых прекурсоров:
Этот традиционный метод, существующий с 1970-х годов, включает сосуд, содержащий жидкий или твердый прекурсор. Термостатированная баня поддерживает температуру прекурсора. Газ-носитель подается в жидкость и образует мелкие пузырьки, которые всплывают на поверхность, позволяя пару достичь равновесного давления пара. Полученная смесь подается в технологическую камеру.
Требования к системе
Решение для подачи газа
В барботерной системе подача газа-носителя в жидкий прекурсор осуществляется с помощью массового расходомера (КМР) Brooks Instrument серии GF100. Разработанный на гибкой платформе, высокочистый полностью металлический проточный тракт обеспечивает ведущие в отрасли показатели точности, повторяемости и надёжности. Данный массовый расходомер характеризуется следующими характеристиками:
Кроме того, контроллер давления Brooks Instrument серии PC100 (PC) с интегрированным датчиком давления и высокоскоростным регулирующим клапаном обеспечивает точный и повторяемый контроль давления как во входной, так и в выходной конфигурации.
Менее сложная, чем барботерный метод, система отбора паров использует нагреваемый сосуд, содержащий жидкий или твердый прекурсор. Нагрев прекурсора повышает его давление насыщенных паров, что позволяет преодолеть естественное падение давления в массовом расходомере и подать пар в камеру. Во многих случаях системы пароотбора требуют применения массовых расходомеров для работы при высоких температурах, особенно при использовании материалов с низким давлением насыщенных паров.
Требования к системе
Решение для подачи пара
Массовый расходомер Brooks Instrument серии GF120XHT для работы при высоких температурах подходит для точного контроля расхода паров прекурсора при температурах до 150 °C. Эта платформа оснащена высокотемпературным модулем датчика расхода/регулирующего клапана и вынесенной электроникой. Дополнительно доступен нагревательный кожух с интегрированным регулятором температуры.
Более сложная по сравнению с методами барботажа и отбора паров, система DLI способна обеспечивать более высокие скорости подачи пара. При этом методе жидкость подается в распылитель, который разбивает ее на мелкодисперсные капли, подобные туману, перед поступлением в испаритель. Газ-носитель обеспечивает энергию для содействия испарению прекурсора.
Требования к системе
Решение для подачи жидкости и газа
Массовый расходомер жидкости Brooks Instrument Quantim подходит для точного и повторяемого контроля подачи жидкости в испаритель. Используя датчик расхода по принципу Кориолиса, Quantim измеряет массовый расход жидкости напрямую, независимо от свойств среды. Помимо прямого контроля массового расхода, Quantim предоставляет вторичные выходные данные по плотности и температуре.
Для обеспечения точного и повторяемого контроля подачи газа-носителя в испаритель подходит массовый расходомер Brooks Instrument серии GF100. Основанная на гибкой платформе конструкция с высокочистым полностью металлическим проточным трактом обеспечивает ведущие в отрасли показатели точности, повторяемости и надёжности.
