Российский производитель и эксклюзивный представитель известных мировых брендов КИПиА
Российский производитель и эксклюзивный представитель известных мировых брендов КИПиА
Хлор (CL₂) является представителем группы галогенных элементов, обладает высокой реакционной способностью и легко соединяется с водородом с образованием соляной кислоты (HCL). Соляная кислота агрессивно воздействует на нержавеющую сталь, вызывая пассивацию поверхности, и может вывести тепловой регулятор массового расхода из строя за короткий период времени. Хлор широко используется во многих применениях — от производства PVC-труб и очистки воды до плазменного травления компьютерных чипов. Хлор является критически важным элементом технологических процессов в современном мире. Срок службы регуляторов массового расхода для хлора, как правило, значительно сокращается, но может быть увеличен за счет применения строго контролируемых технологических процедур.
Основным источником загрязнения в применениях с хлором является воздух и содержащаяся в нем влага. Чтобы избежать этого «вторжения» в процесс, крайне важно обеспечить полную герметичность системы до начала работ. Лучший (и наиболее экономичный) способ — продуть линию чистым сухим азотом (N₂) под давлением 50 psig. Важно убедиться, что линия ничем не перекрыта (запорными клапанами и т.д.). Далее провести наиболее точное измерение давления в линии и оставить систему в статическом состоянии на 24 часа или дольше, если возможно. Затем проводится повторная проверка показаний давления, чтобы убедиться в отсутствии падения. Наилучшие результаты проверки герметичности достигаются в условиях стабильной температуры.
Удаление воздуха из технологической линии перед подачей хлора является ключевым для успешного запуска процесса. Продувка линии после завершения цикла увеличивает срок службы массовых расходомеров хлора (CL₂). Наилучший метод промывки — циклическая продувка сухим азотом (N₂). Она осуществляется путем повышения давления в линии продувочного газа (азота) до 30 psig с последующим сбросом до небольшого противодавления в 1-3 psig. Это обратное давление защищает линию от обратного потока воздуха. Цикл следует повторить не менее 15 раз, чтобы удалить весь воздух и влагосодержащие газы даже из самых маленьких «мертвых» зон линии. Поддержание высокого вакуума в линии после промывки квалифицирует систему как «чистую» для работы с хлором.
Источник сухого азота для продувки должен иметь сертификат, подтверждающий содержание влаги/кислорода менее одной миллионной доли (1 PPM). Периодически это необходимо проверять с помощью встроенного тестирования. Для работы с хлором предпочтительно использовать выделенную линию продувочного газа. В идеале, в качестве основной предупредительной меры непосредственно перед точкой использования технологического газа следует применять специализированные газовые очистители (как в полупроводниковой промышленности). Эти очистители необходимы для достижения содержания влаги лучше, чем 100 миллиардных долей, что является рекомендуемым «безопасным» уровнем для минимизации/исключения образования соляной кислоты в технологическом потоке.
Идеальным тепловым регулятором массового расхода для работы с газом хлора (CL₂) является серия GF80 или GF100 от Brooks Instrument с металлическими уплотнениями. Металлические уплотнения исключают возможность дегазации через эластомерные уплотнительные кольца, предотвращая попадание воздуха в поток. Ключевые функциональные компоненты этих расходомеров изготовлены из Hastelloy C-22 — датчик расхода, гнездо клапана и отверстие клапана. Hastelloy C-22 обладает высокой коррозионной стойкостью к хлору. Кроме того, продукты серии GF80 и GF100 имеют поверхность с шероховатостью Ra не более 10 мкдюймов, обеспечивая работу без образования частиц. Исключительная производительность серии GF дополнительно усиливается технологией MultiFlo — программируемостью газа и диапазона, встроенной в электронику каждого устройства. Для всех устройств серии GF была выполнена калибровка на реальном газе хлора, создавая эмпирическую таблицу калибровки. Расходомеры серии GF80 и GF100 обеспечивают высочайшую точность и надежность в работе с хлором.
