Российский производитель и эксклюзивный представитель известных мировых брендов КИПиА
Российский производитель и эксклюзивный представитель известных мировых брендов КИПиА
Статьи по КИПиАЧистые помещенияМониторинг фильтров HEPA и ULPA на производстве полупроводников
Полупроводниковый транзистор — это деталь с особыми электронными свойствами, позволяющими использовать его в качестве компонента микросхем и современной электроники, такой как телефоны, ноутбуки и многое другое. Поскольку эти компоненты имеют небольшие размеры и требуют точных методов производства, для их изготовления существуют специальные установки.
Эти помещения состоят из нескольких уровней, включая вентиляционные установки и скрубберы для вытяжки, помещения с фильтром HEPA, чистые помещения фабрики и подфабричные помещения. Контроль перепада давления в помещении необходим для обеспечения безопасности оборудования и персонала.
Помещения с фильтрами HEPA/ULPA находятся в пространстве над чистым помещением полупроводниковой фабрики. В этой зоне установлено фильтрационное оборудование, удаляющее твердые частицы из внешней среды. Фильтр HEPA (высокоэффективный фильтр твердых частиц) и/или фильтр ULPA (фильтр со сверхмалым содержанием твердых частиц) используются для улавливания мелких загрязнений и предотвращения их попадания в чистую зону фабрики. Чистое помещение фабрики должно быть свободным от твердых частиц, поскольку именно здесь производятся полупроводниковые приборы, такие как микроскопические транзисторы. Такая малая частица, как молекула аромата, может разрушить один из этих транзисторов, поэтому правильная фильтрация является неотъемлемой частью процесса производства полупроводников.
Содержание
Фильтры HEPA используются во многих сферах, например, в чистых производственных помещениях или медицинских изоляторах. Они используются для удаления твердых частиц диаметром 0,3 микрона и более. Фильтры ULPA, с другой стороны, изготовлены из более плотного материала, что позволяет им задерживать частицы меньшего размера (диаметром 0,12 микрона). Из-за материала для прохождения воздуха через ULPA-фильтр обычно требуется больше энергии, чем для HEPA-фильтра. Кроме того, при использовании ULPA-фильтра уменьшается воздушный поток.
Компания Dwyer предлагает целый ряд приборов для помещений с фильтрами HEPA/ULPA, в том числе для контроля и мониторинга давления, воздушного потока, температуры и влажности воздуха в помещении для производства полупроводников
Манометры, такие как манометр Magnehelic компании Dwyer, позволяют быстро визуально проверить состояние давления в фильтрах. Если перепад давления на фильтре невелик, это свидетельствует о том, что поток воздуха относительно свободен. С другой стороны, если разница давления на фильтре значительна, это свидетельствует о снижении потока воздуха из-за препятствия, например, скопления частиц на фильтре. Контроль перепада давления поможет определить необходимость замены фильтра, а также наличие засоров и неисправностей заслонок. Проверенный временем манометр Magnehelic® имеет прочный и надежный корпус с высококачественными компонентами, обеспечивающими длительный срок службы. Dwyer также предлагает высокую точность.
Измерение скорости воздуха, поступающего в помещение и выходящего из него, может помочь определить количество смен воздуха в час (ACH). Под сменой воздуха в час понимается количество раз в час, когда воздух в чистом помещении заменяется чистым, отфильтрованным и обработанным воздухом. Датчик скорости воздуха серии 641RM с выносным зондом оснащен высокоточным нагреваемым датчиком массового расхода с выносным зондом. 6-футовый кабель устройства соединяет датчик с электронным корпусом и позволяет установить корпус в удобном для доступа месте.
Поскольку фильтры HEPA не предназначены для фильтрации газообразных частиц, таких как угарный газ, важно отслеживать и контролировать уровень угарного газа в помещении. Это поможет предотвратить загрязнение чистого помещения частицами угарного газа. Датчик угарного газа серии CMT200 обеспечивает выходной сигнал по току или напряжению, пропорциональный концентрации газа.
Мониторинг/контроль температуры и влажности позволяет лучше контролировать окружающую среду и может помочь уменьшить рост плесени. Датчики температуры и влажности серии RHP объединяют выходной сигнал преобразователя влажности по напряжению или току с выходом пассивного температурного термистора или ТДС.
Всенаправленный датчик присутствия OSC-200 автоматически управляет системой вентиляции HVAC благодаря сферической линзе и обеспечивает зону обнаружения 360° с помощью инфракрасной технологии. Использование датчика присутствия идеально подходит для управления освещением, избавляя от необходимости прикасаться к выключателю, что помогает предотвратить распространение бактерий, или для включения системы ОВиК в случае присутствия людей.
Использование монитора состояния помещения позволяет контролировать несколько параметров и до трех помещений из одного центрального места. Монитор состояния критических помещений StabiliSENSE™ серии RSMC разработан для критических применений с низким перепадом давления, требующих строгого контроля давления и сигнализации. RSMC представляет собой комплексную систему с сенсорным графическим интерфейсом пользователя, который отображает на выбор 3 параметра: давление, относительную влажность, температуру или изменение воздуха. Изменение цвета графического дисплея позволяет четко определить, когда параметры работают в допустимом диапазоне (зеленый), в диапазоне предупреждения (желтый) или вышли за пределы допустимого рабочего диапазона (красный).
