Российский производитель и эксклюзивный представитель известных мировых брендов КИПиА
Российский производитель и эксклюзивный представитель известных мировых брендов КИПиА
Статьи по КИПиАЧистые помещенияМониторинг давления, температуры и потока на производстве полупроводников
Полупроводниковый транзистор — это деталь с особыми электронными свойствами, которые позволяют ему служить компонентом в микрочипах и современной электронике, такой как телефоны, ноутбуки и многое другое. Поскольку эти компоненты имеют небольшие размеры и требуют точных методов производства, для их изготовления существуют специальные установки.
Эти помещения состоят из нескольких уровней, включая вентиляционные установки и скрубберы для вытяжки, HEPA-комнаты, чистые помещения фабрики и подфабричные помещения. Контроль давления, расхода и температуры в помещении очень важен.
Полупроводниковые технологические инструменты используются для производства микрочипов и других микроэлектронных компонентов. Эти технологические инструменты отличаются высокой степенью сложности и имеют множество применений, таких как пневматика, электрика, электроника, дымоудаление, химическое и газовое распределение, генерация радиочастот (RF) и сверхвысокий вакуум. Продукция Dwyer помогает обеспечить мониторинг и управление технологическими инструментами в соответствии с заданными владельцем системы параметрами.
Содержание
Манометры, переключатели и контроллеры используются для контроля потока выхлопных газов между скрубберами и системами очистки.
Манометр дифференциального давления Magnehelic® серии 2000 — это универсальный манометр с широким выбором из 81 модели и 27 опций на выбор. Он имеет прочный и надежный корпус с высококачественными компонентами, обеспечивающими длительный срок службы. Dwyer также предлагает высокоточную версию манометра Magnehelic®, которая включает точность в пределах 1% от полной шкалы, зеркальную накладку шкалы и сертификат калибровки по 6 точкам.
Контроллер перепада давления серии DHC — это прибор «3 в 1», сочетающий в себе манометр с цифровым дисплеем, управляющие релейные переключатели и преобразователь с выходами по току и напряжению. Этот контроллер является идеальным прибором для измерения давления, скорости и объемного расхода в нескольких общепринятых инженерных единицах с возможностью выбора однонаправленного или двунаправленного диапазона. Они обеспечивают точность 1,5 % или выше на очень низких диапазонах и точность 0,5 % на диапазонах 1 дюйм в квадрате или выше.
Используя полупроводниковую технологию, реле/манометр Photohelic® серии 3000MR/3000MRS сочетает в себе функции точного, с высокой повторяемостью дифференциального реле давления и большого легко читаемого аналогового манометра. Настройки переключателя легко регулируются с помощью больших внешних ручек на лицевой стороне прибора.
Взрывозащищенное реле перепада давления серии 1950G оснащено внешним винтом уставки, который обеспечивает легкий доступ, упрощая регулировку без вскрытия или разборки корпуса. Кроме того, оно совместимо с системами, работающими на природном газе, и очень компактно — весит примерно вдвое меньше, чем аналогичные обычные взрывозащищенные реле.
Регулируемые дифференциальные реле давления серии ADPS/EDPS предназначены для давления, вакуума и разности давлений. Ручка регулировки с двойной шкалой в дюймах водяного столба и паскалях позволяет изменять давление срабатывания без манометра.
Процессы производства полупроводников расположены в чистом помещении фабрики. Часть этих инструментов (например, зоны обслуживания камер, газовые и химические шкафы и т. д.) подключены к локальной системе дымоудаления. Технологические инструменты должны быть подключены к местной системе дымоудаления из-за возможности случайного выброса токсичных паров, газов и/или паров в окружающую среду. В случае отключения вытяжки переключатель/датчик Photohelic® компании Dwyer Instruments помогает обеспечить отключение технологического оборудования в изолированном/безопасном состоянии для предотвращения потенциальных опасностей в случае чрезвычайной ситуации.
Фабрики полупроводников расположены непосредственно под чистыми помещениями завода. Внутри подлаборатории вспомогательное оборудование, такое как сверхвысоковакуумные насосы, системы очистки, охладители, теплообменники и другое различное оборудование, соединено с технологическими инструментами, расположенными непосредственно над ними. Среди этого оборудования системы удаления загрязнений используют переключатели/датчики Photohelic® компании Dwyer на своих выпускных отверстиях. Системы очистки соединены между технологическими инструментами, насосами сверхвысокого вакуума и системами скрубберов в подсобных помещениях. Выхлопные патрубки подведены непосредственно к системе скрубберов, расположенной в подсобном помещении, и их необходимо контролировать из-за наличия ряда опасных побочных продуктов и стекол, с которыми ведется борьба. В случае остановки скруббера Photohelic® помогает обеспечить отключение системы очистки в изолированном/безопасном состоянии для локализации этих потенциальных опасностей в случае аварийного отключения.
Расходомеры Dwyer контролируют инертные газы, используемые для продувки камер технологических инструментов.
Расходомеры Rate-Master® серии RM представляют собой линейку прецизионных расходомеров общего назначения с прямым считыванием, подходящих для применения как в газовой, так и в жидкостной среде. Эти расходомеры имеют длительный срок службы благодаря прочному, небьющемуся корпусу из поликарбоната. Они также обладают высокой повторяемостью и повышенной точностью благодаря прецизионному литью под давлением вокруг прецизионного конического штифта и специальным встроенным направляющим потока, которые стабилизируют движение поплавка.
Расходомеры серии MM Mini-Master® подходят как для газовых, так и для жидкостных применений. Их прецизионное литье обеспечивает высокую повторяемость, а белая задняя часть расходомерной трубки позволяет лучше видеть поплавок, повышая точность показаний. Расходомеры Mini-Master® компактны и занимают минимум места.
Расходомеры серии VF Visi-Float® — это серия расходомеров с прямым считыванием, точно обработанных, с прозрачным акриловым корпусом, подходящих для применения как в газовых, так и в жидкостных системах. Производство расходомеров Visi-Float® опирается на более чем 60-летний опыт обработки акриловых приборов. Цельный прозрачный акриловый корпус и конические отверстия вырезаются и обрабатываются с высокой точностью для обеспечения высокой повторяемости. Шкалы для прямого считывания показаний штампуются в пластике горячим способом с гладким белым фоном, что обеспечивает повышенную точность считывания показаний и увеличивает срок службы прибора.
Расходомеры серии TVA идеально подходят для работы с жидкостями высокой чистоты или коррозионными жидкостями. Расходомеры этой серии имеют деления шкалы от 0 до 10, обозначающие дискретную скорость потока.
Расходомер серии VAT идеально подходит для работы с жидкостями высокой чистоты или коррозионными жидкостями. Расходомеры этой серии имеют шкалу от 0 до 10 для индикации расхода. Каждое устройство проходит индивидуальные испытания на герметичность с показателем 1 x 10-7 sccs гелия или выше.
Компактные реле расхода серии P2 используют конструкцию поршневого типа для применения как в воздухе, так и в чистой воде. Переключатели имеют предустановленные точки срабатывания от 0,05 до 1,0 GPM для воды и от 25 CFH до 5 CFM для воздуха. Экономичная и превосходная конструкция делает этот переключатель отличным решением для оборудования чистой воды, контроля срока службы фильтров, теплообменников и систем охлаждения.
Компания Dwyer предлагает широкий ассортимент датчиков температуры для контроля уровней в системах очистки, теплообменниках и охладителях.
Цифровой температурный переключатель серии TS2 — это простое в использовании решение для мониторинга и контроля температуры в системах отопления или охлаждения. Программирование нескольких устройств упрощается с помощью клавиши конфигурации. Яркий красный светодиодный дисплей хорошо виден с расстояния, а параметр пароля обеспечивает дополнительную безопасность.
Благодаря широкому ассортименту продукции для мониторинга различных приложений на предприятиях, проверенные временем решения Dwyer помогают критически важным системам работать с максимальной производительностью. Продукция Dwyer всегда была неотъемлемой частью обеспечения бесперебойной работы технологического оборудования, а также охраны окружающей среды и техники безопасности.
